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Caso de SAI para epitaxia de semiconductores: BKPOWER garantiza un rendimiento de obleas de 98,5%

Ⅰ. Visión general del proyecto

  1. Antecedentes de la empresa
    • Fundada en 2016, con sede en Pizhou Economic Development Zone, Jiangsu, Jiangsu Huaxing Laser es una empresa nacional de alta tecnología y especializada “Little Giant”.
    • Se centra en I+D y producción de obleas epitaxiales de semiconductores compuestos de Ⅲ-Ⅴ (GaAs, InP), al servicio de campos de gama alta como la comunicación por fibra óptica y el radar láser.
    • Características: 30+ PhD/MA equipo central, ¥200M+ valor del equipo, 5,000㎡ taller limpio, ¥150M+ producción anual.
  2. Demandas de potencia de la línea de producción
    • Los equipos MOCVD para epitaxia de semiconductores requieren:
      • Estabilidad de la tensión dentro de ±1% (las fluctuaciones reducen el rendimiento de las obleas).
      • Filtrado de armónicos para tasas de distorsión >5% de dispositivos de alta frecuencia.
Maletín UPS para epitaxia de semiconductores

Ⅱ. Principales retos

  1. Riesgos para la calidad de la energía
    • Sobrecarga instantánea: La corriente de arranque del MOCVD alcanza un pico de 8.000 A, lo que activa la protección contra sobrecargas en los sistemas tradicionales. UPS.
    • Contaminación armónica: THDi alcanza 8% por cargas no lineales, acortando la vida útil de los equipos.
  2. Duras exigencias medioambientales
    • La parada del equipo >10 minutos desecha las obleas, por lo que es necesario cambiar de SAI sin interrupciones.
  3. Obstáculos a la gestión de O&M
    • Suministro descentralizado: 12 sistemas SAI independientes provocaron una respuesta a fallos de >30 minutos.
    • Envejecimiento de las baterías: Las baterías de plomo-ácido (3.000 ciclos) generaron unos costes anuales de sustitución de 500.000 yenes.
Maletín UPS para epitaxia de semiconductores

Ⅲ. Solución

  1. Arquitectura técnica
    • Control paralelo inteligente:
      • 4×300kVA SAI en paralelo (1,2MW en total), redundancia N+1, equilibrio de carga ±1%.
    • Gobernanza armónica:
      • Filtrado activo THDi incorporado, PF de entrada >0,99.
  2. Estrategia de aplicación
    • Despliegue modular con reserva de capacidad 30%.
    • Integración con el sistema MES de la fábrica para obtener información en tiempo real Eficiencia del SAI y monitorización del SOH de la batería.

Ⅳ. Logros del proyecto

  1. Estabilidad de la producción
    • Reducción de 98% en paradas de MOCVD, aumento del rendimiento de las obleas de 92% a 98,5%.
  2. Optimización de la eficiencia energética
    • THDi reducido de 8% a 3%, ahorrando ¥800K/año en electricidad.
    • Las baterías de litio hierro fosfato (10.000 ciclos) reducen los costes de mantenimiento en 70%.